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JKSPE : Journal of the Korean Society for Precision Engineering

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초정밀 레�저를 �용한 연꽃잎 표면 �연 모사 연구

Laser Micro-Structuring of Super-Hydrophobic Surface for Lotus Effect

Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2023;40(4):291-299.
Published online: April 1, 2023

1 전남대학� 광공학협�과정

2 광주과학기술� 고등광기술연구소

3 전남대학� 화학공학부

1 Department of Interdisciplinary Program for Photonic Engineering, Chonnam National University ÿØÿàJFIFddÿìDuckydÿáqhttp://ns.adobe.com/xap/1.0/ ÿîAdobedÀÿÛ„ÿÀŠÿÄ     ! 1AQa"q� 2#w8ð‘¡ÁÑB3´µ6v¶7×X±Rr²$˜9áñb’C³Ãt%u&–ÖW·‚s'(xy¢ÂÓ4T”5f‡—ÇH¨¸Ø  !1AQaq"�‘¡2B ±ÁRbr#³´u67ðѲ3sTt5v8áñâSc$4Ä‚’¢C“ÔÔ%UÕÂÒÓ…•FVÅÿÚ ?ßàêÓ_A÷ú‹× ­j- ŠHÌûû>‚>Ì,šm*>½ôßÈÞfzp"áõö—£Téõ‹£—Ær÷Kkr¾ÒÙî��âœ^× »Òr.|_&€ã]¿|*œ™v¿P¶²uܶv”o‡±¿QÇ1Ÿ ¾�ŒŸmÍëw¾VJUöhu-ãIð"=L‹‡n§õ‘iù½AÆ•8Úö�"ûÛ²½þ„� ák�*Ò¿[yùu:ý.Ž‚v«U¤ÒÚQ+•)Ñá%F� D•Hy²V‡è×B훩kš>‘Hêy8øÓj©Ý¹ q~§9Dúñ4íKR‚þm±zõÚíQ„¥ßö)µ^Ê”Ó.J%k_tVi5NTê¥Ójg!'¡k©Çy|5as…¨ðÃOÏÁÈ»)R–¯Û¸ß©FMÔ¿3LÕ4çj¹6dÖùÚœ#êNIwUF©•]J ûq¡BŒô¹/(ËF™aãŠâfJöRzq3à\GÕ›™ ?ö~\£ 6å)6èý•Wµµ4¶m[O›ö^L0ìEË&r¤RMïØ¶*º×ÑC .ÍÂ]Un·l¥Š-1— 1ßr#Rj/¥´ø¯&QɈ׉˩·ás6­Rj=5Tgæ.´êy™.·PÓ¡:ÖJJíS«…÷:îßC8èÝ-Äù„2u]–d�&¢é»Òvøª·Uºz;¾»7p·9‘˜» 5Všã‰nLÖ¢µ£”¢"y)Ц">Ói×™Ñ(ûIDDd|œ¹Ö Yj0·­; L›§ãR¯fÙÞàÝS�˜:k¥ÚÃñtYäK%*ÒN2^ômñ|&dÄŸthó":‡ãÊe§Øy¾)u§P—¶ôQó¡ZöðW)gcC3Pv&“M¾ÇéM¯„ÂWìÏì¬d&¯Å´ãÛ²½�mvŸT¹èRoÞÕªM0Ü3ä*…F3Yº›dûèæãýÃ6¡®èÚ\8õ,¼\h÷Ý» kß”‘õâi¶¡<k× žÞNTõð¦wSëÔªº­Ñmljö•’j[>->±p£tU©Ôâ�%¯'§L‹R>&EÇBïôH$ßÝý�§ÉMQAU¶x[›$Z6’ÒÍv®Ôi&’_“a.K˜IQ{äh©yÆ’½ ’j"JùOCá ê×9òö—ìeäFŒªÒ�´ÞÿfŽjµîí;™ËšÎ©<[3”_m%ÃïÑ÷ ·•l‹¦Q@¥Ö4œ³Ñg²ü�=5$°™(J]YëÁ®c-OMqé<÷ÊÚõÇ�‡“ wSø²�¨¹z’œ«ïÚ—)kš$ÜË7ªV©I¥ïÅPý붾ͯnV+卵*t]i‚ÐŽD¥31ñí~S¨Añí1ûéÃCÐ2u)ÑÂʼnΛãQn-UÅoîi÷3ò´�:®«gß»rI8ý¯ÊØ“Wm*G zà«Ü•)ZÌ×§J}Åê§Yµ Y“lGeJ6ØcB2I ‹NS3×Qµ>kÔõÞ=KT›½ÅBëœâ—ÆÙÎT]ŠŽž‚W鿇¢ÂÞ6œ¬«Ü+ãSÓÛ¦ööï÷Ož—X©QgG©R¦? 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#E-mail: ibson@gist.ac.kr, TEL: +82-62-715-3337
• Received: October 14, 2022   • Revised: January 2, 2023   • Accepted: January 6, 2023

Copyright © The Korean Society for Precision Engineering

This is an Open-Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License (http://creativecommons.org/licenses/by-nc/3.0) which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.

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  • In a pilot natural super-hydrophobic surfaces study, a super-hydrophobic surface was made by coating, etching, laser ablation, chemical vapor deposition and lithography. In this study, cone-shaped periodic micro and nano-structures were constructed on a silica surface with femtosecond and picosecond laser, and the period of micro-structures between cone shape patterns was increased with 10 μm intervals. The contact angle and image of the super-hydrophobic surface were analysed and the cone (Aspect-ratio 1.27) shape model with micro-protrusion structure similar to the surface of the lotus leaf was made to measure the contact angle. To analyse the differences in the contact angles between the cone shapes and heights of the micro-protrusion, different samples with cone (Aspect-ratio 1.27), sphere (Aspect-ratio 1.00) shapes were made through laser micro-machining technology. To mimick the natural lotus leaves, the optimum condition was a cone shape. Samples of PDMS with different shapes and mixed micro/nano-structures were fabricated with a PDMS mold insert. The largest contact angle was measured at 170.42o which is similar to the contact angle of the lotus leaf. This mold insert could be used repeatedly. The molding process is advantageous for large areas and mass production.
�연계� 현�� 모사하기 위한 연구가 다양한 분야�서 진행 중�다. 연꽃 잎� 표면� 수많� �기들� 있고, �기들� 표면�는 나노 �기� 구조로 �해 초소수성(초발수, Super-Hydrophobic) 특성� 가진다. 초소수성 특성� 표면� 붙어있는 오물, �� 물�나 빗방울로 쉽게 제거해 �기 정화기능(Self-Cleaning)�� 부른다[1,2]. 초소수성 표면� 여러 산업 분야�서 �용�고 있는� 초소수성 특성� 금�� �용할 경우 부�� 방지하고, 온�가 낮� 겨울�는 물� �한 결빙� 억제할 수 있다. 액체� 방향과 ��를 조절하기 위해 초소수성 특성� 활용하기� 하며, 물과 기름� 분리하는 분리막으로 �용하는 등 다양한 연구들� 진행 중�다. 초소수성 표면 모사를 위한 연구는 대표�으로 고체 표면� 다른 물질� 코팅하거나 �착하는 �향� 방법과 고체 표면� 미세 구조를 제작하는 하향� 방법� 있다. 대표�� �향� 방법�는 리소그래피(Lithography) 방�� 있고, 표면� �토 레지스트(Photoresist, PR)를 코팅하고 리소그래피 장비를 �용해 표면� 제작하는 방��며[3,4], 화학 기� �착(Chemical Vapor Deposition) 방�� �용해 표면� �착 하는 방법� 사용�다[5,6]. � 하향� 방법으로는 PDMS 표면� �접 레�저 가공� 하거나 PDMS� 다른 물질� 혼합해 초소수성 표면� 제작하는 방�� 있다[7-11]. 선행 연구�서 피코초 레�저를 �용한 스�너 가공으로 격� 형�� 5-30회 반복 가공� 하고, PDMS 금형� 제작하여 마��로와 나노 스케�� 구조를 제작하고, 제작� PDMS 표면� 초소수성 특성� 보고한 연구가 있다[12]. 본 연구는 하향� 방� 중 하나� 레�저 가공 방�� �용하여 고체 표면� 형�� 정밀하고 빠르게 가공하는 방법� 연구하였으며[13,14], �를 �용해 금형� 제작하고 PDMS� 표면� 연꽃잎 표면� 모사하는 연구를 진행하였다.
연꽃잎� 표면�는 수많� 마��로, 나노 �기� 미세 �기가 있고, 나노 구조가 표면� 복합�으로 존재한다. �러한 구조로 �해 표면� �물질� 물�나 빗방울� �해 쉽게 제거가 �다. �를 연꽃잎 효과(Lotus Effect)�고 부르며, 마��로, 나노 복합 구조� 장�� 표면� 항시 깨�하게 유지하여 광합성� 하는 �물�게 매우 효과��다. 실제 연꽃잎� 표면 형�� 확�하기 위해 전계방사-주사전�현미경 FE-SEM (Field Emission-Scanning Electron Microscopy, S-4700)으로 연꽃잎 표면� �미지를 측정하였다. Figs. 1(a)는 실제 �태공��서 서�하고 있는 연꽃잎� 사진�고, 1(b)는 연꽃잎� 표면� 물방울� 떨어져 있� 때� 모습�다. Fig. 1(c)는 연꽃잎� 500배율로 분�한 것�고, 표면� 수많� �기 들� 표면 전체� 분�� 것� 확�할 수 있다. Fig. 1(d)는 연꽃잎 표면� 2,000배율로 확대한 �미지�며, 미세 �기들� 유사한 �기와 형태를 유지하는�, 미세 �기� �과 높�는 약 6-10 μm �기로 모든 표면� 고르게 분��어 있었다. Fig. 1(e)는 4,500배율� �미지�며, 바닥과 �기를 �함한 모든 표면� 미세한 나노 구조가 있고, �를 고배율로 관찰한 것� Fig. 1(f)�다. 15,000배율로 나노 �기� 복합 구조를 확�할 수 있고 연꽃잎� 표면� 마��로 �기를 �함한 모든 표면� 고르게 분�� 것� 확�할 수 있었다.
Fig. 1

Digital camera images natural lotus leaves and (b) Water on the lotus leaf. FE-SEM (c)-(d) Image of lotus leaf

KSPE_2023_v40n4_291_f001.jpg
접촉� �론� 고체 표면� 형�� 따� 달�지는� Fig. 2�서 고체 표면� 미세 구조가 존재하지 않는다고 가정한 Young’s �론과 표면� 작고 미세한 �기가 존재한다고 가정한 Wenzel’s �론 그리고 고체 표면� 미세 �기 구조 위� 액체가 떠받� 있다고 가정한 Cassie-Baxter’s �론으로 구분할 수 있다.
Fig. 2

A schematic diagram of the theory models for contact angle

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Fig. 2(a)�서 Young’s� �론 모�� 고체 표면� 미세 구조가 없는 ��한 표면��고 가정� 했고, θ0는 ��한 표면�서 접촉��다. 고체(Solid), 액체(Liquid), 기체(Air)� �호간 계면 �너지는 γSL� 고체(S)-액체(L)� 계면 �너지, γLA는 액체와 기체 간� 계면 �너지, γSA는 고체와 기체� 계면 �너지를 나타낸다. 따�서 고체표면� 액체� 접촉�� 고체를 구성하는 성분� 따� 고유� 접촉�� 가진다[15,18].
(1)
cos�θ0=γSA-γSLγLA
실제 고체표면� ��하지 않고, 특히 Fig. 1� 연꽃잎� 표면과 같� 마��로 �기� �기들� 있는 것� 확�할 수 있다. �를 해�하기 위해서는 Wenzel’s과 Cassie-Baxter’s �론� �용한다.
Fig. 2(b)�서 Wenzel’s� �론 모�� 고체 표면� 미세한 �기들� 존재하고, 액체와 �기가 완전히 접촉하였다고 가정� 하였다. 거칠기율(γ, Roughness Factor)� 액체가 실제로 고체 표면� 접촉한 전체 면�(n = a + h + b)� 표면 위� 투�� 액체� 면�(C)로 나눈 값�다. ��한 표면� γ =1�고, 거칠기가 있는 표면� γ>1� �다. θ0 = 90o �하는 표면 거칠기가 �가하면 접촉�� �소해 친수성� �고, θ0 = 90o ��� 표면 거칠기가 �가하면 접촉�� �가하여 소수성(발수) 표면� �다[16,18].
(2)
cos�θw= γcos θ0
(3)
γ=a+b+hC=nC
Fig. 2(c)�서 Cassie-Baxter’s �론 모�� 고체 표면� 미세 �기들 위� 액체가 떠있다는 가정하였다. 단면� 구조를 보면 고체 표면(a)과 기체가 만나는 면(b)� 있다. 여기서 fa는 고체표면 �기� 닿� 액체를 투�� 면�(C)으로 나눈 것(fa = a/C), fb는 액체가 기체� 닿� 면� 투�� 면�(C)으로 나눈 값�다(fb = b/c). fa와 fb를 합한 값� 1� �다. 따�서 fb = 1 - fa로 표현할 수 있다[17,18].
(4)
cos�θCB=facos�θa=fbcos�θb
(5)
cosθCB=fa1+cos�θa-1
�때 고체분율(Solid Fraction)� fa는 전체 투�면��서 액체와 고체 표면� 접촉한 부분� 비로 1보다 작� 값� 가진다. 물방울� 접촉면�� 작아져 fa가 0� 가까워질수� 접촉�� 180o 근접해진다.
�번 연구�서 연꽃잎� 모사를 위해 사용� 레�저는 펨토초와 피코초 레�저를 사용하였다. 펨토초 레�저는 Light Conversion 사� Pharos 레�저로 기준 파장 1,030 nm, �균 출력 6 W, 반복률 100 kHz, 펄스 � 250 fs� 사양� 가진다. 펨토초 레�저를 �용해 실리카 표면 가공 실험� 진행하였다. 피코초 레�저는 Advanced Optowave 사� AOPico AMT 1064 모��고, 기준 파장� 1,064 nm, �균 출력 20 W 반복률 50-200 kHz, 펄스 �� 12 ps�다. 표면 형� 제작� 위해 Scanner 가공 방�� 사용해 실험� 진행하였다.
펨토초 레�저� 가공 조건� 파장 1,030 nm, 펄스 반복률 100 kHz, 레�저 파워 1,287 mW, 스�너 가공 �� 0.1 mm/sec, 가공� 사용� 스�너는 SCANLAB’s hurrySCAN, F-Theta lens, f = 100 mm 피코초 레�저� 가공 조건� 파장 1,064 nm, 펄스 반복률 50 kHz, 레�저 파워 380 mW, 스�너 가공 �� 10 mm/sec, 가공� 사용� 스�너는 SCANLAB’s hurrySCAN, F-Theta lens, f = 100 mm를 사용하였고 형�� 주기와 높�를 변경하며 실험� 진행하였다. 연꽃잎� 형�과 비슷한 가공 조건� 찾기 위해서 펨토초와 피코초 레�저로 �� 형태로 실험� 진행하였고, 가공 �� � 형�� 대한 비� 실험� 진행하였다.
금형(성형) 제작� 사용한 PDMS는 SYLGARD 184 SILICONE ELASTOMER KIT를 사용하였다. 실험� 완료� 샘플� 전계 방사-주사전�현미경(Field Emission-Scanning Electron Microscopy, S-4700)� �용해 표면 분�� 진행하였으며, 레�저를 �용하여 제작� 형�� 초소수성 특성� 확�하기 위하여 접촉� 측정기를 사용하였다. 접촉� 측정기는 Surface & Electro-Optics사� Phoenix-MT�고, 측정� 사용한 접촉� 측정기� 측정 범위는 0-180 deg, 오차범위 0.1 deg�다. 소프트웨어 �한 ��, 수� 측정 � 12배율 줌렌즈 카메�를 사용하며, DI 워터는 3차 �류수를 사용하였고 측정� 사용� 양� 약 5.62(uL)를 사용해 접촉�� 측정하였다.
본 연구�서는 연꽃잎� 표면� 모사하여 마��로 미세 �기� 형� 제작하여 초소수성 특성� 갖는 표면 제작� 목표로 하였다. 초소수성 표면 모사를 위해 연꽃잎과 가장 유사한 �뿔 형��서 주기를 10 μm 간격으로 �가시키며 실험� 하였고, 그� 따른 접촉�� 측정하였다. �후 실리카 금형� 반복사용 실험 � 접촉�� 비�하는 실험� 진행했다. �한 �뿔 형�� 종횡비를 조절하여 접촉�� 비�하는 실험� 진행하였다.
Fig. 3� 초정밀 레�저 가공 시스템� �용하여 연꽃잎 표면과 유사한 형� 제작� 위해 실험� 진행한 내용� 그림으로 표현한 것�다. 첫째, 실리카� 형�� 제작하고 초�파 세척 � �리� 과정� 거� �물질� 제거하였다. � 번째로 PDMS를 합성해 실리카 표면� 고르게 ��하였으며, 실리카와 PDMS 금형� 분리하여 초소수성 PDMS 표면� 제작하였다. PDMS� 합성� Sylgard 184 Silicone Elastomer Base와 Sylgard 184 Silicone Elastomer Curing Agent를 10 : 1� 비율로 혼합하고, � 물질� 혼합 과정�서 발�� 기�를 제거하기 위해 진공 챔버�서 30분간 탈� 작업� 진행하였으며, PDMS를 가공� 실리카 위� ��해 금형� 제작하였다.
Fig. 3

Schematic diagram of laser micro-structuring for lotus effect of experiment method

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초소수성 표면� 제작하기 위해 연꽃잎 표면과 유사한 �뿔 형�� 먼저 가공하였다. �뿔 형�� 제작하기 위해 펨토초, 피코초 레�저� 스�너 가공� ��한 방법으로 가공� 진행해 가공 시간� 짧� 조건� 찾는 실험� 진행하였다. 기초 실험�서 선, 격� 가공� 진행해 실리카 표면� 전체와 선� 주기를 변경하며 레�저 가공하여 PDMS 금형� 제작해 표면� 형�� 비�하였다. 펨토초로 제작� 금형� 표면� 미세한 나노 구조가 제작�었지만 PDMS 금형 제작하고 실리카 표면� 확�하면 PDMS 물질� 잔존하여 재사용� �향� 주는 것� 확�하였다. 피코초 레�저로 제작한 실리카는 금형 제작 후 현미경으로 확�하면 잔존하는 PDMS 물질� 양� �었으며, 펨토초 레�저� 비해 빠른 가공��와 �� 시간으로 제작� 가능함� 확�하였다. 피코초 레�저를 �용하여 홀 가공� 진행하였으며, Z축� 변경하며 4회 반복으로 가공하였다. 5 mm 정사�형� 범위를 4회 반복 가공� 하면 60초� 짧� 시간� 실리카 금형� 제작할 수 있었다. 가공� 실리카와 PDMS� 표면� FE-SEM �미지 분�� 진행하였고, 샘플� 표면과 45o 기울� �태�서 5,000배율로 확대하여 표면 분�� 진행하였다.
피코초 레�저를 �용해 제작한 실험� Fig. 4�서 실리카 표면� ��으로 가공�고, 레�저 �해 가공� 표면� 나노 �기� 미세 구조가 실리카 표면� 형성�었다. Fig. 5�서 보듯� 실리카� 제작� 미세 구조는 금형 제작한 PDMS 표면� 미세 구조가 그대로 구현�� 확�할 수 있다.
Fig. 4

The FE-SEM image of micro hole of silica glass micro-structured by picosecond laser. Nano structures are visible on the micro hole surface

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Fig. 5

The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS after mold process. Nano-structures are visible on the micro-protrusion surface

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연꽃잎� 모사한 실험� 개��는 Fig. 6�며 �뿔 형�� 대한 실험 조건� 표현하였다. 형� 간 주기 간격� 10 μm 간격으로 �가�고 제작� 시료는 127-600 μm까지 �뿔 형�� 주기를 변경하여 실험� 진행하였다. �뿔� 높�는 190 μm, � 150 μm으로 고정하였고, 종횡비는 1.27 (Aspect-ratio 1.27)� 비율� 갖는다.
Fig. 6

Schematic diagram of laser micro-structuring of micro-protrusion with different periods

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피코초 레�저를 �용해 제작� PDMS 금형� �뿔 형�� 대해 FE-SEM� 사용하여 �미지를 분�하였다. Fig. 7� 금형제작� �뿔 형��서 주기� 변화를 �미지 분�� 하였고, �뿔 형�� 10 μm� 주기 간격으로 127-600 μm까지 제작하였다. Figs. 7(a)� 주기� 간격� 140 μm, 7(b) 160 μm, 7(c) 170 μm, 7(d) 300 μm, 7(e) 400 μm, 7(f) 600 μm�다. 형�� �미지�서 보듯� ��한 �기와 높�를 가지며 주기� 간격만 �가� 것� 확�할 수 있었다.
Fig. 7

The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with different periods of micro-protrusion. The periods of micro-protrusion are (a) 140 μm, (b) 160 μm, (c) 170 μm, (d) 300 μm, (e) 400 μm, (f) 600 μm

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접촉� 측정기를 사용하여 주기 간격� 따른 접촉�� 비�하였다. Fig. 8� 주기 간격� 대한 초소수성 특성� 확�하기 위하여 접촉� 측정� 진행한 결과�며, 140 μm� 주기�서 144.64o� 접촉�� 나타나고, 주기가 �가할수� 접촉�� �가하여 170 μm 주기�서 170.42o� 최대 ��가 측정�었다. �후 주기가 �가�수� 접촉�� �소함� 확�하였다. 초소수성 표면으로 제작� 주기 170 μm는 Casiee-Baxter’s� �론과 �치하고, 마��로 �기 위� 물방울� 올�가 있는 것� 확�할 수 있었다. 접촉� 측정� �� 조건으로 3회 반복 측정하였고, �를 �균 값으로 계산하면 약 170o� ��가 측정�었다. Figs. 8(a) 144.64o, 8(d) 147.91o, 8(e) 141.67o� ��가 측정�어 소수성 표면으로 제작�었고. 액체와 �뿔� 접촉면� �가하였다. Figs. 8(b) 147.91o와 8(c) 170.42o는 액체가 �뿔 형� 위� 위치하며 초소수성 접촉�� 보였다. Fig. 8(f) 110.22o�서는 액체가 미세 �기와 접촉면�� �가하며, PDMS 표면� 완전히 접촉하는� 고체 표면과 완전히 접촉� 것� 확�할 수 있었다.
Fig. 8

The contact angles of periodic micro-protrusion of PDMS with different periods of (a) 140 μm, (b) 160 μm, (c) 170 μm, (d) 300 μm, (e) 400 μm, (f) 600 μm. The contact angle are (a) 144.64o, (b) 150.6o, (c) 170.42o, (d) 147.91o, (e) 141.67o, (f) 110.22o

KSPE_2023_v40n4_291_f008.jpg
측정� 접촉�� 기준으로 Fig. 9와 같� 그래프로 나타냈다. 금형으로 제작한 127-600 μm� �뿔 형��서 주기가 �가� 때� 접촉� 변화를 나타낸 것으로 처� 141.45o 접촉�� 측정�었고 주기가 170 μm�서 최대 접촉�� 170.42o� 접촉�� 측정�� 확�하였다. 형�� 주기가 �가할수� 접촉�� �차 �소�어 110.22o까지 하�하며, 가공하지 않� PDMS� 접촉�� 측정하면 100.59o 로 측정� �는� 주기가 600 μm 샘플� 순수 PDMS� 접촉�과 유사한 ��를 가지게 �다. �뿔 형�� 마��로, 나노 복합 구조로 연꽃잎과 유사한 모양으로 제작�지만 주기� 간격� 따� 초소수성 특성� 변하는 것� 실험� 통해 확��었다.
Fig. 9

The graph of contact angle with different periods of PDMS sample

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연꽃잎� 모사한 �뿔(Aspect-ratio 1.27) 실리카 금형� 반복 사용하였� 때 PDMS� 변화를 확�하기 위하여 실리카 금형� 10회 재사용 실험� 진행하였다. Figs. 10(a)와 10(b)는 4회, 6회 반복 사용한 PDMS� 마��로 구조 표면�고 나노 구조가 선명하게 보�는 것� 확�할 수 있다. Figs. 10(c)는 8회, 10(d)는 10회 반복한 �미지�다. 1-9회까지는 나노 구조가 유사하게 제작�지만 10회�서는 나노 구조� 형태가 �� �릿하게 제작�었다. 실리카 금형� 9회까지는 정��으로 반복 사용� 가능한 것� 확�하였다.
Fig. 10

The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with mold used repeatedly. The micro-protrusion of silica mold repeatedly used are (a) Repeat 4th reuse, (b) Repeat 6th reuse, (c) Repeat 8th reuse, (d) Repeat 10th reuse

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실리카 금형� 1-10회 반복 제작한 PDMS� 접촉� 변화를 비� 실험하였다. 정확한 측정� 위해 접촉�� 3회 측정하여 �균값� 사용하였다. Figs. 11(a) 162.39o, 11(b) 161.77o, 11(c) 159.79o, 11(d) 156.12o ��가 측정�었고, 금형� 반복 사용�수� 접촉�� �소하는 것� 확�할 수 있다. 1-3회 재사용�서는 약 172-166o� 접촉�� 측정�었으나 금형� 반복 사용할수� 접촉�� 줄어들었고, 특히 나노 구조� 형�� 변화� 10회는 접촉�� 156.12o으로 �소한 것� 확�할 수 있다.
Fig. 11

The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with mold used repeatedly. The contact angle of micro-protrusion of silica mold repeatedly used are (a) 162.39o, (b) 161.77o, (c) 159.79o, (d) 156.12o

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실리카 금형� 반복 사용하여 제작� 모든 PDMS� 접촉� 변화를 그래프로 표현한 것�고, Fig. 12는 실리카 금형� 1-10회 반복 사용한 시료�서 측정� 접촉�으로 1-2회 반복 제작�서 약 170o� 접촉�� 측정�었으나 금형� 반복 사용�수� 접촉�� �차 �소하였다. 접촉�� 차�는 있으나 10회 반복 제작하여� 초소수성 표면� 제작�는 것� 확�하였다.
Fig. 12

The graph of contact angle with micro-protrusion of silica mold repeatedly used

KSPE_2023_v40n4_291_f012.jpg
연꽃잎� 모사한 �뿔 형��서 가장 높� 접촉�� 측정�었고, 종횡비� 따른 접촉� 변화를 확�하기 위해 비�실험� 진행하였다. �뿔 형�� 높�는 190 μm�고, �� 150 μm� �기를 가진다. Fig. 13�서 �뿔 형�� 기준으로 �뿔, 형� 제어를 통해 연꽃잎 표면과 다른 형��서� 초소수성 특성� 비�하는 연구를 진행하였다. 마��로 구조� 종횡비를 조절하여 접촉� 변화를 확�하기 위하여 � 모양� �뿔(Aspect-ratio 2, 1.54, 1.27), 구면(Aspect-ratio 1.00) 형태로 제작하였으며, 형� 간� 주기를 �가시키며 조절하여 접촉� 변화를 관찰하였다. 형� 간 주기 간격� 170 μm 간격으로 ��한 조건�서 �뿔 형�� 종횡비를 변경하여 실험� 진행하였다.
Fig. 13

Schematic diagram of laser micro-structuring of micro-protrusion with different aspect-ratio

KSPE_2023_v40n4_291_f013.jpg
종횡비� 비율� 따른 접촉� 변화를 확�하기 위해 비� 실험� 진행하였다. Figs. 14(a)부터 14(c)는 � 모양� �뿔 형��고, 종횡비는 2, 1.54, 1.27�고 14(d)는 구면 형�� 종횡비는 1� 비율� 가진 PDMS 금형� 제작하였다. 종횡비� 비율� 조절하여 제작한 PDMS 샘플�서� ��하게 마��로 구조 위� 나노 구조가 제작�어 복합 형�으로 제작� �었다.
Fig. 14

The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with different aspect-ratio of micro-protrusion. The aspect-ratio of micro-protrusion are (a) 2, (b) 1.54, (c) 1.27, (d) 1.00

KSPE_2023_v40n4_291_f014.jpg
접촉� 측정기�서 종횡비가 조절� �뿔, 구면, 형��서 접촉�� 측정하여 � 형��서� 초소수성 특성� 확�하였다. Figs. 15(a) 146.16o, 15(b) 152.22o, 15(c) 170.42o, 15(d) 156.79o로 접촉�� 측정�었고, �뿔(Aspect-ratio 1.27 : 1) 형��서 170.42o 최대 접촉�� 측정�었다. 종횡비� 따�서 접촉�� 차�를 보�며, 미세 �기� 높�를 �가시켜� 접촉�� 커지지 않고 �정하게 유지�며, 종횡비 1.27�서 최대 접촉�� 측정�다. 액체와 접촉하는 표면� 형�� 관찰하였� 때 종횡비가 1.27� �뿔 형�� 액체와 접촉면� 가장 �었고, 종횡비가 1� 경우 액체와 접촉면� �가하는 것� 확�할 수 있었다.
Fig. 15

The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with different aspect-ratio of micro-protrusion. The contact angle of micro-protrusion are (a) 146.16o, (b) 152.22o, (c) 170.42o, (d) 156.79o

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종횡비� 따른 접촉� 변화를 그래프로 표현한 것�고 Fig. 16�서 PDMS 표면� 제작� 종횡비� 따� 접촉�� 변화하며, 초소수성 특성� 달��� 알 수 있었다. 초소수성 접촉�� 가장 높게 나타난 종횡비 1.27보다 비율� �가시켜 제작한 종횡비 2와 1.54는 접촉�� � 좋아지지 않고 �소하였고, 비율� 1.27� 형��서 가장 좋� 접촉�� 나타나는 것� 확�할 수 있었다. 종횡비가 1� 비율�서 구면 형�� PDMS 표면과 마��로-나노 복합 구조가 물방울 접촉하는 면�� �가하였고, 낮� 접촉�� 나타났다. 액체와 �접 접촉하는 마��로 나노 구조� � 형�� 종횡비가 따� 다르게 측정� 것�� ��한다.
Fig. 16

The graph of contact angle with different aspect-ratio of PDMS sample

KSPE_2023_v40n4_291_f016.jpg
본 연구는 연꽃잎� 모사하기 위해 연꽃잎� 미세 �기와 가장 유사한 �뿔 형�� 실리카� �� 형태로 제작했고, �를 PDMS으로 금형 제작하여 연꽃잎 모사 실험� 진행하였다. �뿔 형�� 주기� 따른 접촉�� 변화와 �뿔� 종횡비� 따른 접촉�� 변화를 확� 하기위한 실험� 진행하였고 �뿔(Aspect-ratio 1.27) 구조를 170 μm� 주기로 제작하면 170.42o� 접촉�� 가지는 초소수성 표면� 제작�는 것� 확�하였다. 실제 연꽃잎� 170o� 접촉�� 가지고 있는�, 실험� 통해 연꽃잎� 초소수성 표면 모사를 하였고, 접촉� �한 연꽃잎� 표면과 유사하게 제작할 수 있었다. 실리카 금형� 사용하여 초수소성 표면� 빠르게 제작하고 10회까지 재사용� 가능함� 확�하였다.
펨토초, 피코초 레�저 스�너 가공 방�� �용할 경우 대물 렌즈를 �용한 가공 방�� 비해 매우 빠른 ��로 제작할 수 있었으며, �번 연구�서는 5 mm 정사�형 가공 면�� 4회 반복 가공 시간� 약 60초 정� 소요�었고, 레�저를 �용한 형� 제작� 시간� 줄� 수 있었다.
종횡비� 따른 접촉�� 변화를 확�하기 위해 PDMS 금형으로 제작� 마��로 �기� 종횡비를 2, 1.54, 1.27, 1� 비율로 제작해 접촉�� 변화를 연구하였다. 그 결과 �뿔(Aspect-ratio 1.27 : 1)� 비율� 가지는 �뿔 형��서 가장 높� 초소수성 표면 제작� �는 것� 확�하였다. 연꽃잎과 유사한 �뿔 형태� 구조가 존재해� 형�� 주기가 �가할수� 접촉�� 줄어드는 것� 확�할 수 있었으며, �뿔, 구면 형�� 종횡비� 따른 접촉� 결과�서 확�할 수 있듯� 마��로 �기 위� 액체와� 접촉면� �가할수� 접촉�� 낮아져 초소수성 특성� 줄어드는 것� 확�할 수 있었다.
실제 연꽃잎� 표면� 마��로, 나노 �기� 복합 구조와 �스 성분� 표면� 존재해 초소수성 특성� 가지는� 본 연구�서는 �스성분�나 다른 물질� 코팅� 하지 않고 초소수성 특성� 가진 표면 제작� 가능함� 실험 결과를 통해 확�하였다. 실리카로 제작� 금형� 반복 사용� 가능하여 비용과 시간� 줄� 수 있� 것으로 ���다. �번 연구를 통해서 연꽃잎� 표면� 모사하였으며, 연꽃잎과 ��한 초소수성 특성� 가지는 표면 제작� 위한 형� 구조� 주기와 종횡비� 대한 조건� 찾� 수 있었다. 레�저 가공 방�� �용하면 초소수성 표면 제작 시간� 빠르고 재사용� 가능해 산업화� �용하기 유리할 것�다. 금형� 반복사용시 마��로 구조 표면� 나노 구조가 없��� 초소수성 표면� 특성� 유지하여 태양광 패�� �용할 수 있� 것�� ���다.
� 논문� 2022년� 광주과학기술� 지스트 개발 과제� 지�� 받아 수행� 연구임. 본 연구는 중소벤처기업부� 창업 성장 기술 개발 사업� 지�� �한 연구임(S3164978).
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Chang Jun Lee
KSPE_2023_v40n4_291_bf001.jpg
Master’s Course candidate in the Department of Interdisciplinary Program for Photonic Engineering, Chonnam National University. His research interest is laser micromachining.
Hun Kook Choi
KSPE_2023_v40n4_291_bf002.jpg
Ph.D. candidate in the Department of Mechanical Engineering, Hankook University. His research interest is femtosecond laser micromachining and its application to optical devices.
Ik Bu Sohn
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Ph.D. in the Department of Mechanical Engineering, Hankook University. His research interest is femtosecond laser micromachining and its applications to optical devices and nano photonics.
Jun Seok Ha
KSPE_2023_v40n4_291_bf004.jpg
Professor in the School of Chemical Engineering, Chonnam National University. His research interest is compound semiconductors, photoelectrochemical water splitting.

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Laser Micro-Structuring of Super-Hydrophobic Surface for Lotus Effect
J. Korean Soc. Precis. Eng.. 2023;40(4):291-299.   Published online April 1, 2023
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Laser Micro-Structuring of Super-Hydrophobic Surface for Lotus Effect
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Fig. 1 Digital camera images natural lotus leaves and (b) Water on the lotus leaf. FE-SEM (c)-(d) Image of lotus leaf
Fig. 2 A schematic diagram of the theory models for contact angle
Fig. 3 Schematic diagram of laser micro-structuring for lotus effect of experiment method
Fig. 4 The FE-SEM image of micro hole of silica glass micro-structured by picosecond laser. Nano structures are visible on the micro hole surface
Fig. 5 The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS after mold process. Nano-structures are visible on the micro-protrusion surface
Fig. 6 Schematic diagram of laser micro-structuring of micro-protrusion with different periods
Fig. 7 The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with different periods of micro-protrusion. The periods of micro-protrusion are (a) 140 μm, (b) 160 μm, (c) 170 μm, (d) 300 μm, (e) 400 μm, (f) 600 μm
Fig. 8 The contact angles of periodic micro-protrusion of PDMS with different periods of (a) 140 μm, (b) 160 μm, (c) 170 μm, (d) 300 μm, (e) 400 μm, (f) 600 μm. The contact angle are (a) 144.64o, (b) 150.6o, (c) 170.42o, (d) 147.91o, (e) 141.67o, (f) 110.22o
Fig. 9 The graph of contact angle with different periods of PDMS sample
Fig. 10 The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with mold used repeatedly. The micro-protrusion of silica mold repeatedly used are (a) Repeat 4th reuse, (b) Repeat 6th reuse, (c) Repeat 8th reuse, (d) Repeat 10th reuse
Fig. 11 The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with mold used repeatedly. The contact angle of micro-protrusion of silica mold repeatedly used are (a) 162.39o, (b) 161.77o, (c) 159.79o, (d) 156.12o
Fig. 12 The graph of contact angle with micro-protrusion of silica mold repeatedly used
Fig. 13 Schematic diagram of laser micro-structuring of micro-protrusion with different aspect-ratio
Fig. 14 The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with different aspect-ratio of micro-protrusion. The aspect-ratio of micro-protrusion are (a) 2, (b) 1.54, (c) 1.27, (d) 1.00
Fig. 15 The FE-SEM image of micro-protrusion of PDMS with different aspect-ratio of micro-protrusion. The contact angle of micro-protrusion are (a) 146.16o, (b) 152.22o, (c) 170.42o, (d) 156.79o
Fig. 16 The graph of contact angle with different aspect-ratio of PDMS sample
Laser Micro-Structuring of Super-Hydrophobic Surface for Lotus Effect